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光刻工艺

文章出处:本站  责任编辑:Editor  人气:1021  发表时间:2019-1-4 10:11:02  【

        光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程为:首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学反应;再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶,后者称负性光刻胶),使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上;最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。

工艺流程:

      常规光刻技术是采用波长为2000~4500埃的紫外光作为图像信息载体,以光致抗蚀剂为中间媒介实现图形的变换、转移和处理,最终把图像信息传递到晶片(主要指硅片)或介质层上的一种工艺。在广义上,它包括光复印和刻蚀工艺两个主要方面。
     ①光复印工艺:经曝光系统将预制在掩模版上的器件或电路图形按所要求的位置,精确传递到预涂在晶片表面或介质层上的光致抗蚀剂薄层上。
     ②刻蚀工艺:利用化学或物理方法,将抗蚀剂薄层未掩蔽的晶片表面或介质层除去,从而在晶片表面或介质层上获得与抗蚀剂薄层图形完全一致的图形。集成电路各功能层是立体重叠的,因而光刻工艺总是多次反复进行。例如,大规模集成电路要经            过约10 次光刻才能完成各层图形的全部传递。
曝光方式
常用的曝光方式分类如下:
接触式曝光和非接触式曝光的区别,在于曝光时掩模与晶片间相对关系是贴紧还是分开。接触式曝光具有分辨率高、复印面积大、复印精度好、曝光设备简单、操作方便和生产效率高等特点。但容易损伤和沾污掩模版和晶片上的感光胶涂层,影响成品率和掩模版寿命,对准精度的提高也受到较多的限制。一般认为,接触式曝光只适于分立元件和中、小规模集成电路的生产。
非接触式曝光主要指投影曝光。在投影曝光系统中,掩膜图形经光学系统成像在感光层上,掩模与晶片上的感光胶层不接触,不会引起损伤和沾污,成品率较高,对准精度也高,能满足高集成度器件和电路生产的要求。但投影曝光设备复杂,技术难度高,因而不适于低档产品的生产。现代应用最广的是 1:1倍的全反射扫描曝光系统和x:1倍的在硅片上直接分步重复曝光系统。
介绍
直接分步重复曝光系统 (DSW)  超大规模集成电路需要有高分辨率、高套刻精度和大直径晶片加工。直接分步重复曝光系统是为适应这些相互制约的要求而发展起来的光学曝光系统。主要技术特点是:
①采用像面分割原理,以覆盖最大芯片面积的单次曝光区作为最小成像单元,从而为获得高分辨率的光学系统创造条件。
②采用精密的定位控制技术和自动对准技术进行重复曝光,以组合方式实现大面积图像传递,从而满足晶片直径不断增大的实际要求。
③缩短图像传递链,减少工艺上造成的缺陷和误差,可获得很高的成品率。
④采用精密自动调焦技术,避免高温工艺引起的晶片变形对成像质量的影响。
⑤采用原版自动选择机构(版库),不但有利于成品率的提高,而且成为能灵活生产多电路组合的常规曝光系统。
这种系统属于精密复杂的光、机、电综合系统。它在光学系统上分为两类。一类是全折射式成像系统,多采用1/5~1/10的缩小倍率,技术较成熟;一类是1:1倍的折射-反射系统,光路简单,对使用条件要求较低。
光抗蚀剂编辑
光致抗蚀剂,简称光刻胶或抗蚀剂,指光照后能改变抗蚀能力的高分子化合物。光蚀剂分为两大类。
①正性光致抗蚀剂:受光照部分发生降解反应而能为显影液所溶解。留下的非曝光部分的图形与掩模版一致。正性抗蚀剂具有分辨率高、对驻波效应不敏感、曝光容限大、针孔密度低和无毒性等优点,适合于高集成度器件的生产。
②负性光致抗蚀剂:受光照部分产生交链反应而成为不溶物,非曝光部分被显影液溶解,获得的图形与掩模版图形互补。负性抗蚀剂的附着力强、灵敏度高、显影条件要求不严,适于低集成度的器件的生产。
半导体器件和集成电路对光刻曝光技术提出了越来越高的要求,在单位面积上要求完善传递图像的信息量已接近常规光学的极限。光刻曝光的常用波长是3650~4358 埃,预计实用分辨率约为1微米。
几何光学的原理,允许将波长向下延伸至约2000埃的远紫外波长,此时可达到的实用分辨率约为0.5~0.7微米。微米级图形的光复印技术除要求先进的曝光系统外,对抗蚀剂的特性、成膜技术、显影技术、超净环境控制技术、刻蚀技术、硅片平整度、变形控制技术等也有极高的要求。因此,工艺过程的自动化和数学模型化是两个重要的研究方向。
基本步骤编辑
1.气相成底模
2.旋转烘胶
3.软烘
4.对准和曝光
5.曝光后烘焙(PEB)
6.显影
7.坚膜烘焙
8.显影检查

如何才能保证光刻产品的品质

一、我的客户需要什么?我如何帮助客户实现?

首要的问题我们始终站在客户的角度考虑问题。因为我们是光刻行业的资深人员,了解客户想的是什么,他的产品由我们的加工能否解决客户问题 ?客户设计初步阶段如何帮助客户去规避一些生产风险?这都 是作为一个服务型工厂必须考虑到的问题。耀达发精密五金拥有自己的工程团队,拥有资深的工程设计人员,可以将客户的需求转化的初步设计的考量,不仅帮助客户实现产品的设计,还要达到客户使用产品的功能。

资深工程

二、对客户来说,耀达发精密与别人相比独特的专长是什么?

我们是专业的蚀刻加工团队,深耕蚀刻行业多年。我们的专长就是可以利用我的优秀的资源,对一些超精密的产品进行独一无二的设计。利用我们的灵活性,专门配备的样品攻关,批量攻关团队,为客户的产品进行量身打造,无论是时间周期还是管控精度,我们都可以随时对应。针对客户的急件,甚至可以24小时内完成,以解客户的燃眉之急。

团队协作

三、耀达发精密能给客户的公司增加多大的价值?

价值取决于提供的服务是否精准。耀达发精密五金针对客户的产品设计制造过程中,采用量化的标准,利用合理的利润空间的同时,帮助客户实现设计初衷。只有客户的设计能完美的实现并优于现有市场上的同类产品,才能为客户的产品最终赢得市场打下坚实的基础。实际上,作为下游的加工企业,服务客户等于帮助客户,服务客户等于帮助客户解决问题。解决现实问题,即帮助客户实现更大价值。

实现价值

四、耀达发精密提供的什么服务是独一无二的?

相完备的体系认证,友好的环境要求。坚持环保理念办工厂!我们的污水废水均为处理后达标排放,生产产生的酸性废气经过处理后抽送,不会对大气产生污染。因为蚀刻行业采用的是化学药水的方式进行加工,会产生一些废渣,重金属。针对此问题,我们也联合工业园及环保监控方,由专门的处理公司进行无害化妥善的处理。我们有专业的检测设备,保证客户的产品符合设计要求。

质量管控

强调服务、关注客户的时代,因为服务是营销的基础,是连接产品和市场的真正桥梁和纽带,一家精密蚀刻加工厂的口碑正是植根于它所提供的服务品质。卓越的服务品质不仅是市场经济发展对光刻提出的具体要求,也正逐渐成为一家金属蚀刻加工核心竞争力的重要内容之一,在很大程度上影响着其未来的盈利能力。

一、把份内的服务做精

份内服务就是意料之内、情理之中的服务,也是我们本应该做好的服务,是客户有需求我们也能提供的服务,占据了我们日常工作的绝大部分。如日常的蚀刻业务处理、产品营销、客户接待等。正是由于这些工作的日常性和重复性,我们可能会忽略掉其中应该注意的某些细节,有时由于处理不当还会导致客户的不满甚至投诉。

1.发自内心尊重和关注客户,迅速响应客户微孔过滤网的需求

所有为客户提供服务的工作人员都要树立全面正确科学的服务观,真正将客户作为上帝,尊重客户的选择和隐私,关注客户的感受,换位思考,站在客户立场为客户办理业务、解决困难。对于客户在服务工作和业务办理中提出的各种诉求积极响应,迅速行动;多方面寻求帮助,让客户感到宾至如归。

2.注意每一个金属蚀刻加工的细节

细节决定成败。蚀刻的工作中要特别注意细节。在日常工作中,从着装、仪表到文明用语的使用等都从细处反映了我们的职业化水平,一个微笑、一个手势、一个问候都能让客户感到温馨;能够为客户提供“一站式”,整体方案的提出服务,做到客户有人问、我们有回应,更是从细处体现了我们的专业化水准,这些是我们细化服务的基础性工作。

3.提供优良的服务环境、便利的服务措施

现在的客户越来越重视服务环境和沟通的便捷性。我们要注重内外部环境建设,加大对网站的细节图片的处理,优化,为客户提供更温馨舒适的网络产品浏览环境。还需注意为特殊客户(如新品开发)提供相应的特殊便利条件。

深圳市耀达发精密科技有限公司

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直线:刘先生135 3425 7051(同微信) 邮箱:ly@sz-ydf.com

QQ刘先生:252292527;阿里旺旺-刘先生 :xieliuliu 

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